應(yīng)用范圍：靈活的OEM設(shè)備，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。

在線面掃和單點檢測

MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實時的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是用的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

還有許多其他的專門應(yīng)用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。                                                              
  

特性

允許單片調(diào)查
配方的基礎(chǔ)測量
監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

優(yōu)勢
在μ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓在不同的準(zhǔn)備階段，直到設(shè)備，磚或錠。
小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動化接口使集成變得容易。重點是長時間的可靠性和測量結(jié)果的精度。

技術(shù)參數(shù)